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光掩膜的類別及精度

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TFT Mask 規(guī)格

TFT Mask 規(guī)格

1、Normal Mask size (Unit: mm)

TFT ARRAY	TFT CF
152.4×152.4×6.4	450×550×5.0
330×450×5.0	508×609.6×5.0
390×610×6.0	700×800×8.0
520×610×10.0	800×920×8.0/10.0
520×800×10.0	800×960×8.0/10.0
800×920×10.0	850×1200×10.0
850×1200×10.0	850×1400×10.0
1220×1400×13.0	1220×1400×13.0

2、CD Specification (Unit: um)

Grade	GTM	C	B	A
TFT ARRAY	±0.1	±0.2	±0.35	/
TFT CF	0.2	±0.35	±0.50	±0.75

3、LTPS Mask Specification (Unit: um)

CD MTT	CD Uniformity	Registration
0.1	±0.1	±0.3

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