光掩膜制作對(duì)環(huán)境的要求：
1、恒溫恒濕：
溫度：23±0.5℃（10級(jí)凈化房），23±0.3℃（1級(jí)凈化房）
濕度：50±5%RH
2、超級(jí)凈化：
大多數(shù)區(qū)域：10級(jí)凈化
局部區(qū)域：1級(jí)凈化（每立方英尺的空間內(nèi)，直徑大于0.5微米的塵埃顆粒數(shù)不能超過1個(gè)）。
光掩膜制作人員的要求：
1、心態(tài)平穩(wěn)，作業(yè)期間任何時(shí)候都能保持沉著冷靜。
2、言行舉止任何細(xì)節(jié)都達(dá)到凈化要求。
3、嫻熟的操作技能，任何一個(gè)細(xì)微動(dòng)作都次次做對(duì)。